HORIBAM0DEL:S48-32GAS:H2气体质量流量计

S48/32质量流量控制器产品介绍

 气体质量流量控制器（流量计）（Mass gas flow controller(meter)缩写为 MFC(MFM)）是对气体的质量流量进行精密测量和控制的设备。

S48/32 质量流量控制器（流量计）

   特点： ☆工作压力范围宽，气体流量不因温度、压力的变化而变化。

              ☆主体采用不锈钢（316L）结构，气密材料采用 VITON®、聚四氟乙烯等。适 用于各种耐腐蚀性气体。线路板、阀体、弹等为重要零部件，均执行 严格的入厂标准。 ☆具有精度高、重复性好、软启动、工作稳定可靠。

              ☆电气操作控制显示，使用方便。易于与电气系统或自动控制系统配合。 ☆配合 MT-51 系列流量积算仪，可对气体的瞬时流量和累积流量进行计 量。

 S48/32 质量流量控制器（流量计）主要应用领域：

    半导体制造行业的气体流量控制；   

    分析仪器设备的气体计量与控制；

    各种形式的真空镀膜设备；

    环境检测与分析设备；

    化工、石化、食品、冶金、光纤熔炼等行业气体流量检测和控制；

    特种材料表面处理装置与燃烧控制；

    混气配气系统和泄露探测系统等。

质量流量控制器（流量计）由质量流量传感器，分流器通道，流量控制调节 阀和放大控制电路等部件组成。 本流量控制器利用流动流体传递热量改变测量毛细管壁温度分布的热传导分 布效应而制成，即热分布式流量计（Thermal Profile Flowmeter）。 采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的质量流量，可以不受温度压力的 影响。将传感器测得的流量信号进行放大，然后与设定的电压进行比较，用所得 的差值信号去驱动控制调节阀门，通过闭环，去控制流过通道的流量使之与设定 的流量相等。